真空设备无论大小都属于精密机械设备,这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则,不能蛮干,一定不能用大锤去敲。清洗零件时要干净,彻底,以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别,一般机械产品多倒楞倒角,而真空泵的楞角分明,很易伤手应多加小心,切记。千万别把楞角倒去。检验是个细致活,每个细节都不要落掉,任何细微的地方都可能是问题所在,所以不能存在侥幸心理。
真空是一种不存在任何物质的空间状态,是一种物理现象。在“真空”中,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。
事实上,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压强小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。
真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。目前在自然环境里,真空炉,只有外太空堪称较接近真空的空间。
电子束可以很容易的做到几千瓦级的输出,而激光器的一般输出功率在1 kW~5 kW之间。电子束加工的功率能达到激光的数倍,其连续热源功率密度比激光高很多,可达1×107 W/mm2。同时比起激光15%的能量利用率,辽宁真空,电子束的能量利用率要高很多,可达到75%。
激光在理论上光斑直径可达1 nm,非标真空系统,但在实际应用中一般达不到。而电子束则可以通过调节聚束透镜的电流来对焦,真空薄膜,束径可以达到0.1 nm。因而可以作到较细的聚焦。加工出的产品粒度高,纯度高,性能更优越。