磁控溅射设备的主要用途:
各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,电子束蒸发,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
时沿装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属**
化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得面积非常均匀的薄膜。
在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。
真空是一种不存在任何物质的空间状态,是一种物理现象。在“真空”中,电子束蒸发方法,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。
事实上,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压强小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。
真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。目前在自然环境里,只有外太空堪称较接近真空的空间。
射汽式抽气器由工作喷嘴、混合室和扩压管三部分组成。工作蒸汽经过喷嘴时热降很大,流速增高,喷嘴出口的高速蒸汽流,电子束蒸发厂家,使混合室的压力低于凝汽器的压力,因此凝汽器里的空气就被吸进混合室里。吸入的空气和蒸汽混合在一起进入扩压管,在扩压管中流速逐渐降低,而压力逐渐升高。
对于一个二级的主抽气器,电子束蒸发价格,蒸汽经过一级冷却室冷凝成水,空气再由*二级射汽抽气器抽出。其工作过程与**完全一样,只是在*二级射汽抽气器的扩压管里,蒸汽和空气的混合气体压力升高到比大气压力略高一点,经过冷却器把蒸汽凝结成水,空气排到大气里。