电子束蒸发制造|玉林电子束蒸发|诺思【好品质】(查看)

沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以**高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，电子束蒸发镀膜，抽速范围为几十至十几万升／秒（1升＝10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。  

为了减少液氦消耗，玉林电子束蒸发，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6帕压力时灌入液氮和液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级，故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕，电子束蒸发制造，液氦温度可降到2.3K，则可得到更低的极限压力。

磁控溅射镀特点：

溅射速率高，沉积速率高。磁控溅射阴极源是一个较为理想的可控源，沉积的膜层厚度与溅射源的功率或放电电流有较好的线性相关性，电子束蒸发型号，所以有较好的可控性，能较好地实现批量生产产品的一致性和重复性。

溅射源采用靶材有广泛的选择性和组合性 。溅射源可较理想地置于真空室内长时间稳定工作，获得**的膜层，确保膜层质量。