真空、天成 开拓进取 、真空炉

真空镀膜操作规程

在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，必须先开水管，工作中应注意水压。在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。在用电子枪镀膜时，真空，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。把零件放入酸洗或碱洗槽中时，真空炉，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。工作完毕应断电、断水。

过去的镀膜多采用电镀法和化学镀法，存在着厚度难以控制、膜层均匀性差、附着力差等问题，三废污染特别严重，在人们环保意识逐步加强的今天，其发展已受到了多方面的制约。 绿色镀膜技术工艺过程简单，对环境友好，真空材料处理，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。与传统的电镀法相比，真空镀膜技术具有很多的优点，如装饰效果好，微光夜视真空系统，金属质感强，易于操作等。特别在非金属物件的应用上，有着传统电镀无法比拟的优势。

化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。

晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，

主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等 。