真空系统集成_真空_天成 开拓进取 查看

玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输，真空储存，依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室，镀膜工艺完成后，经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动，传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现，真空，在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。玻璃镀膜设备的一个特点是生产的周期性，即“抽真空—真空状态生产—破空—腔室维护—抽真空”，这样周而复始进行。在生产状态下，溅射舱室内挡板及屏蔽板上沉积的溅射物逐渐增厚，会逐渐产生欠层、崩裂、脱落现象，掉落到玻璃上会影响玻璃的镀膜，较高真空，造成缺陷。

显露的外面的表层较容易被污染到，真空系统集成，被污染的情况有很多种，一开始一般是由本身运转形成的。

要注意表层吸附、化学作用、清洁和晾干等过程、机械在各种运作过程中都有可能产生污渍使表面污染物增加。

前期开始注意机器的保养与清洁可以减少后期的很多麻烦，防止溅控溅射镀膜机各类小状况的发生，可提高工作效率、真空镀膜机镀膜的质量也起到相当重要的作用。可以很大程度的提高提高真空系统器壁与其他各机器配件在不同情况下都能稳定的运转工作。