诺思 客户至上 图 _真空材料处理_真空

工艺气体输入系统

工艺气体，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，真空，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能**会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，更换气瓶时，必须保证所**台都处于非用气状态。

真空与镀膜结合改变了以往的镀膜工艺，真空材料处理，转变了镀膜技术，**高真空电子束蒸发，实现自动化镀膜功能，特别智能化，也便于维护，一个按键就能完成自动开关机生产，减少了人力资源成本；最后，结合真空的特色镀膜设备不必担心产品镀膜过程受杂质影响问题，在完全真空条件下镀制均匀、致密、附着力强的膜层，使用多种技术满足不同产品镀膜要求。在真空镀膜技术还未出现的时候，用的是化学电镀技术，此种技术污染太大，科研学者一直希望研发能代替的镀膜技术。