从射水泵来的具有一定压力的工作水经水室进入喷嘴,喷嘴将压力水的压力能转变为速度能,水流高速从喷嘴射出,使空气吸入室内产生高度真空,抽出凝汽器内的汽、气混合物,一起进入扩散管,非标真空系统,水流速度减慢,压力逐渐升高,最后以略**大气压力排出扩散管。在空气吸入室进口装有逆止门,可防止抽气器发生故障时,工作水被吸入凝汽器中。
中国真空设备制造行业近年来无论是规模、品种还是技术水平都已取得了长足的进步,但整个行业与国外**业相比,还仍然存在较大差距。
主要表现在:一是企业规模仍然偏小,全国散布着数百家生产企业,其中有很大部分都是在以往国有企业中分散出来的家族式或朋友之间股份合作式小微企业,整体实力偏弱;二是大部分企业研发投入少,没有设立真正的研发部门,**高真空,基本处于接单—设计—生产的简单模式,导致在产品创新等方面远远落后于国外**,产品同质化现象严重,高端产品市场基本被国外**垄断。
磁控溅射设备的主要用途:
各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,上海真空,以提高太阳能电池的光电转换效率。
时沿装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属**
化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得面积非常均匀的薄膜。
在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。