真空镀膜机让镀膜变得简单
镀膜过程大致可分为填充、抽真空、镀制、冷却等主要工序,以及与其相关的前后工序,如清洗、开关机、检测等,使用真空镀膜机可以提高镀膜生产效率,减少劳动成本、人工成本,非常适用于大规模生产,并满足环保的要求,让镀膜变得简单。真空镀膜机有多种分类,按镀膜工艺技术可以分为蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等;按真空度可以分为低真空、中真空、高真空以及极限真空;按温度可分为低温、高温镀膜;轰动影响:当泵体或轴承轰动较大时都会发生轴承温度过高的表象,查看泵体找出轰动缘由,消除轰动,则轴承温度康复。按品种可以分为**真空镀膜机和通用真空镀膜机;按操作可以分为手动、半自动、全自动真空镀膜机等。
用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入反应气体如氮气或氧气。另一方面,从物理学角度来讲,再密实的材料也是有空隙的,由于负压的作用,随着时间的推移空气分子也会被“挤进”袋内,真空效果也会逐渐降低的。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。
?真空镀膜设备对环境的要求
真空镀膜设备对环境的要求:一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;随后进行真空镀膜,根据不同的产品和客户不同的要求来选择不同的金属进行蒸发,从而实现产品表面的金属效果。而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。
如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。