**高真空,诺思 客户至上 ,四川真空

管内镀膜设备及镀膜技术，其特征在于：采用磁控溅射镀膜技术，四川真空，以被镀管的管壁为真空腔的侧壁，两端进行真空密封，并设置排气口和充气管道;放电阴极为圆柱状，**高真空，与被镀管同轴设置，其内部水冷，但不在其中设置磁体，真空储存，阴极外表面设置圆柱靶材。

(1)减小沉积功率从60％→30％，延长沉积时间；

(2)降低加热温度，300℃→常温；

(3)放电气体压力从15．0 millitorr以上→7．5-8．5 millitorr。

当粗抽泵连续工作一个月，需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，微光夜视真空系统，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法是：用(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。