当粗抽泵连续工作一个月,需更换新油。
方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,真空薄膜,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,真空,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,非标真空系统,应清洁工作室一次。
方法是:用(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,微光夜视真空系统,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
旋片油封式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,其工作原理是用真空泵油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的一类机械真空泵。其工作压强范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或**高真空泵的前级泵。简单来说旋片油封式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。