卷绕式真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2μm,可以在这个范围内选择,韶关真空,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本**提出沉积两种不同 镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室,左下室和右下。蒸镀时,**高真空电子束蒸发,两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,真空薄膜,装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用 这套装置可以在较薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,真空镀膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
4、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。