长治真空,天成 自主创新 ,真空镀膜

减少碎片的解决方案及措施

从以上分析可知，晶片碎片与放电气体流量、溅射沉积功率、加热温度等工艺条件有关。因此在保证其他条件不变的情况下，分别作了以下三个实验加以验证：

(1)减小沉积功率从60％→30％，真空镀膜，延长沉积时间；

(2)降低加热温度，非标真空系统，300℃→常温；

(3)放电气体压力从15．0 millitorr以上→7．5-8．5 millitorr。

真空泵油的耐热安定性

表示油品的耐高温才能，也就是光滑油对热合成的抵御才能，即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空油品提出热安定性的请求。

自然矿物油均有其不可防止的缺陷，长治真空，耐热性能要比合成油差，泵油的成份随热氧化合成较易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间降落。普通纯矿物油氧化实验法D943为几百小时左右，而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其运用寿命得到延长。