真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,高稳定高精度恒温系统设备,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,大同高稳定高精度恒温系统,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空镀膜机操作对于环境的要求的还是较为高的,在操作的时候各个方面希望都可以引起注意,具体的我们下面来看看。
真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,众多周知,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,高稳定高精度恒温系统制造,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,破坏了泵的抽气性能。