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真空镀膜设备的维修和保养

扩散泵在重新开机前，要注意检漏工作：

扩散泵连续使用6个月以上，真空设备，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，真空储存，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，浙江真空，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空炉，便可以重新开机。

真空泵油的选择要求

1、真空泵油的密封性

真空泵油需求具有适合的粘度，在低温下能使真空泵疾速启动，在高温下真空泵油能具有良好的密封性，在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分，降低运用过程中真空泵的返油率。

2、真空泵油的饱和蒸汽压

饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。