天成 优质产品 图 、真空炉、真空

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油分散泵三大多数构成、 机械泵：也叫前级泵，机械泵是使用较广泛的一种低真空泵，真空炉，它是用油来坚持密封效果并依托机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，真空，使被抽容器内气体的体积不断胀大然后取得真空。

  机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用较广泛。

在半导体晶片制造过程中，一个重要的工序环节就是金属薄膜沉积，**高真空，该工艺是作为电路引线用。沉积金属薄膜较常用的方法是蒸发和溅射。然而随着集成电路向线结和图形微细化的方向发展，加上对接触和互连的要求也越来越严，特别是铝硅互溶引起的结穿通和电迁移现象变得更加严重，接触和互连材料就有必要采用铝的合金以及各种难溶金属。