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真空镀膜设备中频磁控溅射知识简介

磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点：利用磁场与电子交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。在近几十年的发展中，大家逐渐采用*磁铁，很少用线圈磁铁。

靶源分平衡和非平衡式，平衡式靶源镀膜均匀，非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多用于半导体光学膜，晋中真空，非平衡多用于磨损装饰膜。

真空镀膜机在使用之前应该做好的检查以免在使用的过程中出现故障。

　　1.主机齿轮箱、牵引减速箱应该时常加油，更换齿轮油。

　　2.新机请在使用10天左右更换新齿轮油，以确保各转动部位正常运转。

　　3.注意加油，防止卡住和过热损坏。4.还应检查各连接部位的固紧情况，真空镀膜，防止罗栓松动。

　　5.泡管中的压缩空气应保持适量。6.启动主电机时，应先启动电机后慢慢加速；关闭主电机，非标真空系统，应先减速后再关机。在安装车灯镀膜机的时候应该注意调整好挤出机机头中心线和牵引辊中心保持水平垂直，收卷时由于收卷外径逐渐增大车灯镀膜机请注意牵引速度与收卷速度的配合，请及时调整。