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严挤的真空密封：众所周知，余属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因此，获得和炉子原定的漏气率，保证真空炉的不作真空度，对确保零件真空热处理的质较有着非常重要的意义，电子束蒸发型号，所以真空热处理炉的一个关键问题，就足要有可靠的真空密封结构，为了保证真空炉的真空性能，在真空热处理炉结构设计中必须遵循一个基本原则，电子束蒸发，就是炉体要采用气密焊接，电子束蒸发厂家，同时在炉体上尽量少开或者不开孔、少采用或者避免采用动密封结构，以尽较减少真空泄漏的机会，安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装胃也都必须设计密封结构。

对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:

基片材料与靶材的晶格匹配程度，基片表面温度，蒸发功率，速率，真空度，电子束蒸发设备，镀膜时间，厚度大小。

组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。