如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上,真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢,那怎样去维护呢?本文主要讲诉了对真空镀膜设备长时间运行后的要点。
首先,非标真空系统,必须要冲入大气,拆去连接水管,将一级喷嘴拧出来,真空,再用汽油将泵腔以及泵胆清洗一下,真空薄膜,再使用洗衣粉兑清水再清洗一次,待水份挥发干后,装好泵胆,重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。
旋片油封式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,其工作原理是用真空泵油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的一类机械真空泵。其工作压强范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或**高真空泵的前级泵。简单来说旋片油封式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。